一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置

摘要

本发明涉及一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置，基于超高真空条件下挥发性和腐蚀性物质薄膜沉积装置包含有主传样腔，生长腔，三维样品操纵台，蒸发源等可用于挥发性腐蚀性物质薄膜的沉积，腔体外置组件包含进气系统，通入沉积所需化学气氛以及反应测包含抽气机组；基于超高真空条件下催化反应测试装置包括反应腔和快速进样室，反应腔包括温控样品台，样品加热源较为局域可更换式，可减小反应中背景干扰，实现不同温度下的精确的催化反应活性测试，腔体外置组件包含进气系统，可通入发生化学反应气。本发明适用于多种挥发性、腐蚀性物质薄膜的制备，与多种超高真空分析仪器进行联结，实现催化剂反应活性的精确测试。