具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法，通过将抛光好的微通道板半成品顺序进行度酸碱交替腐蚀、高浓度酸腐蚀和真空高温烘烤，使得微孔光学元件的通道内表面形成粗糙度大于10nm的表面，可以实现将微孔光学元件用于准直器领域，获得良好的光线准直效果。