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公开/公告号CN108666432A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-16
原文格式PDF
申请/专利权人 华南理工大学;
申请/专利号CN201810283683.4
发明设计人 马东阁;代岩峰;郭庆勋;孙倩;陈江山;
申请日2018-04-02
分类号H01L51/50(20060101);H01L51/52(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人罗啸秋
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2023-06-19 06:47:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
授权
2018-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/50 申请日:20180402
实质审查的生效
2018-10-16
公开
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