制作在传感器表面的可提高光传感器灵敏度的结构

摘要

本发明公开了制作在传感器表面的可提高光传感器灵敏度的结构。本发明利用CMOS传感器的感光像素中的无效面积，通过在金属膜上制作一些特别设计的微纳结构，可以使局部透过率大大增强，使光信号在穿过金属膜后将无效面积的光照有效聚集到有效感光位置，从而提高传感器的灵敏度。该特别设计的微纳结构可以方便地覆盖在光电探测器、传感器、影像器等部件的表面，达到提高其灵敏度的效果。本发明也适用于其他芯片/结构/器件的有效透光效率增加。