法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
著录事项变更 IPC(主分类):B81B7/04 变更前: 变更后: 申请日:20160929
著录事项变更
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B7/04 申请日:20160929
实质审查的生效
2018-09-28
公开
公开
机译: MEMS网格,用于操纵MEMS器件的结构参数
机译: MEMS网格,用于操纵MEMS器件的结构参数
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