具有原子级平整表面的薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种具有原子级平整表面的薄膜的制备方法，包括：提供一衬底放置于反应腔室内，首先向反应腔室内通入包含有二硅氧烷的气体，在衬底表面上形成第一晶种层，然后向反应腔室内通入包含有环戊硅烷的气体，在所述第一晶种层上形成第二晶种层，最后在第二晶种层上形成薄膜，以此提高薄膜的表面平整度，达到原子级平整表面。