公开/公告号CN108593103A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所;
申请/专利号CN201810530079.7
申请日2018-05-29
分类号G01J1/42(20060101);
代理机构11639 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王民盛
地址 100095 北京市海淀区温泉镇环山村
入库时间 2023-06-19 06:38:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J1/42 申请日:20180529
实质审查的生效
2018-09-28
公开
公开
机译: 用于在真空腔室中运输基质载体的设备,用于基质的真空处理系统以及用于在真空腔室中基质载体的运输方法的设备
机译: 用于在真空腔室中处理载体的设备,真空沉积系统以及用于在真空腔室中处理载体的方法
机译: 真空腔室中成像的设备,基质的真空处理系统以及真空腔室中至少一个对象的成像方法