首页> 中国专利> 一种CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜及其制备方法

一种CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜及其制备方法,通过磁控溅射沉积法制备得到,所述导电薄膜包括上下两层CaSnO3层、CaSnO3层中间夹着Ag层以及透明柔性衬底。制得的CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜的性能优良,成本低廉,适合工业化生产。

著录项

  • 公开/公告号CN108588658A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-09-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东莞理工学院;

    申请/专利号CN201810357716.5

  • 发明设计人 吴木营;何林;周晓海;许文杰;

    申请日2018-04-20

  • 分类号C23C14/35(20060101);C23C14/20(20060101);C23C14/08(20060101);H01B5/14(20060101);

  • 代理机构11563 北京汇彩知识产权代理有限公司;

  • 代理人彭逊

  • 地址 523000 广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号

  • 入库时间 2023-06-19 06:35:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20180420

    实质审查的生效

  • 2018-09-28

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号