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光致生酸化合物和包含它的光致抗蚀剂组合物，包含光致抗蚀剂的涂覆制品及其制造方法

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本发明涉及光致生酸化合物和包含它的光致抗蚀剂组合物，包含光致抗蚀剂的涂覆制品及其制造方法。本发明涉及一种式(I)的化合物：

著录项

公开/公告号CN108586304A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-28

原文格式PDF
申请/专利权人罗门哈斯电子材料有限公司;
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申请/专利号CN201810678536.7
发明设计人 E·阿卡达;C-B·徐;刘骢;李明琦;山田晋太郎;
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申请日2013-10-25
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人樊云飞
地址美国马萨诸塞州
入库时间 2023-06-19 06:35:45

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-10-26

实质审查的生效 IPC(主分类):C07C381/12 申请日:20131025

实质审查的生效
2018-09-28

公开

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