公开/公告号CN103787923A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限公司;
申请/专利号CN201310513127.9
申请日2013-10-25
分类号C07C303/32(20060101);C07C309/12(20060101);C07C309/17(20060101);C07C381/12(20060101);G03F7/09(20060101);G03F7/00(20060101);G03F7/004(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人项丹
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2024-02-19 23:23:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C07C303/32 申请公布日:20140514 申请日:20131025
发明专利申请公布后的驳回
2014-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C303/32 申请日:20131025
实质审查的生效
2014-05-14
公开
公开
机译： 光酸产生剂化合物和包含其的光致抗蚀剂组合物，涂覆制品的制造方法以及包含光致抗蚀剂的制品
机译： 产生光酸的化合物和包含其的光致抗蚀剂组合物，包含光致抗蚀剂的涂覆制品和制造制品的方法
机译： 包含相同的光酸产生化合物和光致抗蚀剂组合物，包含光致抗蚀剂的涂层制品以及制造该制品的方法
