一种用于流动控制的高频等离子体激励器

摘要

本发明涉及一种用于流动控制的高频等离子体激励器，激励器产生电弧等离子体的方式有两种：(1)同轴电极(coaxial)；(2)陶瓷平行电极(ceramic)。并具有以下优点：激励器成圆柱形，体积小(外径≤3.5mm)安装方便，可多个组合使用；激励器工作频率覆盖范围宽(实验验证0‑50kHz)；激励器所需击穿电压小(～400V)；激励器功率稳定(～110W)，并在高频下可通过调节单脉冲激励的占空比来实现对加入能量的控制或调节电路参数(电源电压和限流电阻)来控制激励器功率。