一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置

摘要

本发明涉提供了一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置，包括腔室，腔室侧壁开设有基板出入孔，腔室底部开设有排出口，腔室顶部固定连接有气体喷射装置，气体喷射装置正下方设有静电卡盘，静电卡盘包括固定底座，固定底座中部贯通开设有结合孔，结合孔内部插设有电极棒，电极棒包括绝缘辅材和金属电极，金属电极电气连接有电源；金属电极侧面与水平面通过斜切面相连接，水平面与斜切面、斜切面与侧面之间形成的夹角为钝角，侧面和金属电极中心轴之间的距离由上至下逐渐增大，金属电极下部形成凸缘部。本发明结构简单，很好的解决了现有技术中金属电极上部的棱角部分电子密度大幅增加，会发生电弧现象对基板产生损伤的缺点。