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公开/公告号CN108550544A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-18
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201810637947.1
发明设计人 V·D·帕科;K·马赫拉切夫;J·德拉罗萨;H·诺巴卡施;B·L·梅斯;小道格拉斯·A·布齐伯格;
申请日2014-05-06
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人金红莲;侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 06:31:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20140506
实质审查的生效
2018-09-18
公开
机译: 静电夹头具有热隔离区,串扰最小
机译:具有最小表面的含有功能分级的机械和能量吸收特性,具有最小表面
机译:使用双向缓冲区和屏蔽插入将耦合RLC互连的串扰最小化
机译:串扰最小的聚合物2 / spl次/ 2热光开关
机译:复合材料水射流加工微生物静电夹盘制造方法的研制
机译:集成纤维静电纺丝:创建具有最小分层的空间复杂的静电纺丝支架
机译:具有热触发阻燃性能的静电纺核壳微纤维隔板用于锂离子电池
机译:集成的纤维静电纺丝:创建具有最小分层的空间复杂的静电纺丝支架
机译:具有最大容量和最小串扰的体全息互连