一种使用耐高温密封新材料的逻辑器件侧墙蚀刻机台

摘要

本发明具体涉及一种使用耐高温密封新材料的逻辑器件侧墙蚀刻机台，其主要部件包括：蚀刻腔体，射频发生装置，电极与高压单元，氦气冷却系统，温度控制系统，磁场控制系统，气体装置，真空系统，传送系统，以及电源和控制柜；所述的蚀刻腔体包括上、下腔体，石英环、硅环组成；一种使用耐高温密封新材料的逻辑器件侧墙蚀刻机台使用方便、操作简单、蚀刻的器件具有很好的均匀性；使用一种耐高温密封新材料，能有适应抗离子体的产生的高温，保持持久，高质量的真空环境。