一种调控超薄铁磁薄膜磁性能的铁电器件的制备方法

摘要

本发明公开一种调控超薄铁磁薄膜磁性能的铁电器件的制备方法。本发明在衬底上制备超薄铁磁薄膜/PVDF基铁电薄膜/Al结构的铁电器件，首先在衬底上制备超薄铁磁薄膜，在制备“十”字标记后，通过光刻和刻蚀得到所需铁磁薄膜图形；然后采用溶胶‑凝胶方法或朗谬尔‑布罗基特方法制备PVDF基有机铁电薄膜；最后在有机铁电薄膜表面制备Al薄膜，通过光刻和刻蚀得到所需Al电极图形。本发明在器件中通过对铁磁薄膜的电极引脚和Al电极加电场使PVDF基铁电薄膜极化，而由极化引起的铁磁薄膜的电性能变化可通过伏安表测量，从而能够为研究有机铁电薄膜对超薄铁磁薄膜的磁性能调控提供保证。