一种基于双频正交光栅投影检测反射元件面形的方法

摘要

本发明提供一种基于双频正交光栅投影检测反射元件面形的方法，使用该方法检测反射光学面形时，其基本器件包括CCD传感器、待测元件、LCD液晶显示器和计算机。LCD显示器依次显示由计算机编码生成的相移条纹图，CCD接收得到经过待测元件表面反射后的变形条纹图。若测量系统中采用物理光栅和机械装置进行相移时，则需在竖直和水平两种光栅中进行切换，并进而完成相应的相移量。为了避免这两个方向上的光栅的切换和实现精确的相移量，提出一种基于最小二乘迭代的双频正交光栅相移方法，将双频正交光栅用于相位偏折术中，测量过程中无需更换光栅，并且也无需精确的相移量，即可同时获取两个方向的相位分布。本发明的有益效果：测量结果精度高，适用于高精度的三维面形测量。