一种大口径镀膜元件低频面形参数的有限元模拟分析方法

摘要

根据相同镀膜条件下小尺寸基片的受力情况,利用有限元法对大尺寸基片镀膜引起的变形量进行了模拟,通过数据转换将模拟结果输入ZYGO面形处理软件,得到了低频面形参数变化量.对比模拟结果与实测结果,发现两者非常接近.利用该方法实现了形状复杂、尺寸较大镀膜基片面形参数变化量指标的预估,使得镀膜元件面形主动量化控制成为可能.