利用氧气阴极还原生成的过氧化氢与阳极氧化生成的氯气协同氧化再生酸性蚀刻废液的方法

摘要

本发明公开了利用氧气阴极还原生成的过氧化氢与阳极氧化生成的氯气协同氧化再生酸性蚀刻废液的方法。该方法包括如下步骤：（1）将印刷电路板生产线流出的酸性蚀刻废液经蚀刻槽导入到电解槽中，在电解槽的阴极通入氧气，同时启动电解槽，将酸性蚀刻废液进行氧化；（2）经过氧化后的酸性蚀刻废液导入调整槽中，将经氧化后的酸性蚀刻废液的酸度值和总铜离子浓度调整至适于蚀刻工作的浓度范围，再回流至蚀刻工作区，进行下一轮蚀刻。本发明方法完美结合了氧气易得、双氧水氧化性强两方面的优点，且操作简单，没有改变蚀刻液的组成成分，提高了蚀刻过程的稳定性，改善了蚀刻工艺。