荷电离子束流强度测量系统及其测量方法

摘要

本公开提供了一种荷电离子束流强度测量系统及其测量方法，该测量系统包括离子束传输真空管道、电磁扫描设备、离子束斑探测器、半拦截式束流探测器、拦截式束流探测器和辐照材料；电磁扫描设备，设置在所述离子束传输真空管道前端的外部；离子束斑探测器、半拦截式束流探测器、拦截式束流探测器和辐照材料顺次设置在离子束传输真空管道内，其中辐照材料设置在离子束传输真空管道的后端。本公开突破了传统铝箔三明治测束技术中存在的测量精度差，易烧蚀损坏等问题，同时也克服了样品与法拉第筒一体式设计中操作不便利、导电样品限制等不足，采用一种半拦截式的测束技术，更加适合在强流、长时间、不同辐照材料实验中使用。