固态成像器件的制造方法及固态成像器件、以及彩色滤光片的制造方法及彩色滤光片

摘要

降低彩色滤光片中的混色而成为高精细。在配置有光电转换器件的半导体基板(10)的表面上形成第一彩色滤光片膜，在第一彩色滤光片膜的表面上形成感光性树脂掩模材料层之后，将在与第二以后的彩色滤光片的形成位置相对的感光性树脂掩模材料层的一部分处形成有开口部的感光性树脂掩模材料层作为蚀刻掩模，通过使用了干式蚀刻气体的干式蚀刻除去第一彩色滤光片膜的一部分，以形成第一彩色滤光片(14)。此时，将第一彩色滤光片用材料与干式蚀刻气体的反应产物形成为设置于各彩色滤光片间的隔壁(17)，从而形成第二以后的彩色滤光片(15、17)。