非晶金属薄膜非线性电阻器

摘要

非晶多组分金属膜(AMMF)可以用于改善例如电阻器、二极管及薄膜晶体管等电子元件的性能。AMMF的界面性能优于晶体金属膜，因此，AMMF和氧化膜界面处的电场更加均匀。AMMF电阻器(AMNR)可以构造为三层结构，包括非晶金属层、隧道绝缘体层和晶体金属层。通过修改材料的顺序、电极的图案及重叠区域的大小和数量，可以调节AMNR的I‑V性能特征。非共面AMNR具有五层结构，包括由金属氧化物隧道绝缘体层隔开的三个金属层，其中，使用非晶金属薄膜材料制造中电极。