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金属薄膜式热敏电阻器在压力传感器中的应用

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摘要

金属薄膜式热敏电阻器应用于压力传感器中,即可以测温,又可以对压力进行温度补偿,研究了金属薄膜式电阻器的温度特性和制备工艺,讨论了铂、镍、银薄膜式电阻器在压力传感器中的应用.

著录项

来源
《传感器与微系统》|2000年第2期|44-46|共3页
作者
王蔚; 刘晓为; 王喜莲; 刘玉强;
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作者单位

哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
金属薄膜; 热敏电阻器; 传感器;
入库时间 2023-07-25 09:52:09

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