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显影液的浓度监视装置及显影液管理装置

摘要

本发明提供显影液的浓度监视装置及显影液管理装置。它们具备密度仪,用于测定显影液的密度。与碱成分等其它成分的浓度无关地在显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间具有良好的对应关系。浓度监视装置基于密度的测定值,根据显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系算出吸收二氧化碳浓度。警报机构在由运算机构算出的显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。显影液管理装置使用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系,基于显影液的测定出的密度值或算出的吸收二氧化碳浓度值,以使显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或管理值以下的方式向显影液补给补充液,由此管理显影液的吸收二氧化碳浓度。

著录项

  • 公开/公告号CN108345185A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社平间理化研究所;

    申请/专利号CN201711232885.8

  • 发明设计人 中川俊元;

    申请日2017-11-29

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王婷

  • 地址 日本国神奈川县

  • 入库时间 2023-06-19 06:00:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/30 申请日:20171129

    实质审查的生效

  • 2018-07-31

    公开

    公开

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