公开/公告号CN108345185A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社平间理化研究所;
申请/专利号CN201711232885.8
发明设计人 中川俊元;
申请日2017-11-29
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王婷
地址 日本国神奈川县
入库时间 2023-06-19 06:00:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/30 申请日:20171129
实质审查的生效
2018-07-31
公开
公开
机译: 调节显影液浓度的方法,制备该显影液的装置以及该显影液
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机译: 抗蚀剂显影液中的碳酸盐的去除方法,装置及抗蚀剂显影液的浓度控制方法