一种多元醇硼酸酯络合物硼扩散源及其制备方法

摘要

本发明提出了一种适用于旋涂硼扩散制程的多元醇硼酸酯络合物硼扩散源。该硼源以多元醇和硼酸为原料，以二元醇醚为溶剂，通过多元醇和硼酸的络合作用制备多元醇硼酸酯络合物硼源。所述硼源的n（多元醇/硼酸）为0‑0.5，硼酸在溶剂中的质量百分比为1‑10wt%。将硼酸和多元醇先后加入溶剂中，在60‑90℃下搅拌0.5‑1h，停止加热后继续搅拌0.5‑1h得到澄清溶液。所得多元醇硼酸酯络合物硼源通过旋涂硼扩散制程，可在电阻率为1‑3Ω·cm的N型硅片上得到30‑150Ω/□的方块电阻，p‑n结长度为0.1‑0.5μm。该硼源的浓度和纯度高，适用于旋涂硼扩散制程。其制备方法简单易行、合成条件温和、材料成本低，适于大规模生产和使用。