基于气体监测和声发射技术的半导体多晶硅精馏塔开裂自动报警器

摘要

本发明涉及一种基于半导体多晶硅精馏塔开裂的自动报警装置，特别是一种基于气体监测和声发射技术的半导体多晶硅精馏塔开裂自动报警器，对半导体多晶硅制备过程中由于多种因素导致精馏塔开裂的现象进行监测和自动报警。包括监测装置部分、控制部分、报警装置部分和辅助装置部分；监测装置部分采用三氯氢硅探测器和集中式多通道声发射检测仪；控制部分包括报警控制器、计算机和计算机显示器，计算机显示器与计算机相连，在计算机内安装有声发射采集分析模块；报警装置部分由黄色LED指示灯、红色LED报警灯及蜂鸣器组成；辅助装置包括电磁阀、排风扇。监测装置部分、报警装置部分和辅助装置部分分别通过USB接口与控制部分相连。