一种微热盘及其制作方法及微热盘系统

摘要

本发明涉及一种微热盘及其制作方法及微热盘系统，包括：衬底，绝缘支撑层，电阻加热层，以及温度感测单元，温度感测单元呈环形设置于衬底的四周。本发明通过采用设置于衬底四周的环形温度感测单元，增加了温度感测单元与环境的接触面积，感测环境温度精度高；温度感测单元工作在室温下，长期稳定性好；同时环形金属层可有效屏蔽外界电磁干扰对微热盘芯片工作的影响。另外，温度感测单元可以实时精确的感测周围环境的温度变化，并自动将采集的温度传输出去，以控制加热区域的加热功率，达到恒定芯片工作温度的目的，方便快捷。