衍射光栅外差式二维位移测量系统及方法

摘要

本发明提供一种新型衍射光栅位移测量系统，包括双频激光器、读数头、一维测量光栅、第一接收器、第二接收器及信号处理系统，读数头采用对称的结构设计；双频激光器向信号处理系统输入参考信号并发出的具有频差且正交线偏振光入射到读数头中，在读数头中分为参考光及测量光；左右两束测量光分别入射至一维反射光栅上，并在一维反射光栅上产生衍射光，衍射光按原路返回读数头，分别与左右两束参考光相干涉，分别进入第一接收器和所述第二接收器中，信号处理系统进行信号处理，获得一维测量光栅在光栅矢量方向和光栅法线方向的位移信息。本发明在实现光栅矢量方向和光栅法线方向位移测量的同时，提高了光栅法线方向的位移测量量程，系统结构简单。