双向微位移放大型精密压电粘滑直线电机及其驱动方法

摘要

一种双向微位移放大型精密压电粘滑直线电机及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短、精度低等技术问题。本发明由非对称式驱动组件、导轨组件、滑台、预紧力加载器和固定台组成。所述非对称式驱动组件通过产生侧向位移，调整其与导轨组件之间的接触正压力，以实现对摩擦力的综合调控；同时，本发明通过不同非对称电信号组合激励非对称式驱动组件，可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有结构简单、负载能力强，且运动稳定等特点，在光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。