压电陶瓷微位移机构系统精密驱动电源的研究

摘要

本文介绍了压电陶瓷的微位移机构系统，并对机构系统的精密驱动电源进行了深入的研究，提出一种新型的微机控制的开关式精密驱动电源。该电源克服了传统的串联型晶体管稳压源功耗大，效率低和散热性差等缺点实现了输入电压为０－５Ｖ时，输出电压在０－３００Ｖ范围内连续可调，具有５０ｍＶ的高分辨率和较为理想的稳特性，其线性相关系数为０．９９８，纹波电压小±１０ｍＶ电源在３．８ＫＨＺ范围内频响特性很好。