基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台

摘要

基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台,该平台包括：外层支座（3）、沙漏形位移放大机构、压电陶瓷驱动器（2）、对称长臂铰链、工作台（6）和内层基板（7）；沙漏形位移放大机构分为x方向沙漏形位移放大机构（1）和Y方向沙漏形位移放大机构（4），对称长臂铰链分为x方向对称长臂铰链（5）和Y方向对称长臂铰链（8）；本发明实施例提供的基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台，可以实现工作台的大行程运动。当然，实施本发明的任一产品或方法并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。