超分辨光学显微镜成像载玻片和具有其的光学显微镜

摘要

本发明公开了一种超分辨光学显微镜成像载玻片和具有其的光学显微镜，其中基于表面等离子体共振腔的超分辨光学显微镜成像载玻片包括：基底层；金属光栅层，所述金属光栅层设在所述基底层上；光刻胶层，所述光刻胶层设在所述金属光栅层上；以及金属薄膜层，所述金属薄膜层设在所述光刻胶层上，所述金属薄膜层、所述光刻胶层和所述金属光栅层一起构成表面等离子体的共振腔结构。根据本发明实施例的基于表面等离子体共振腔的超分辨光学显微镜成像载玻片，共振腔中表面等离子体波(SPWs)具有比相同频率的直接照明光或者传统等离子体结构光照明显微镜(PSIM)中的SPWs更大的波矢。