金属催化化学腐蚀法单面制备多晶黑硅绒面的方法

摘要

本发明涉及一种金属催化化学腐蚀法单面制备多晶黑硅绒面的方法，其特征是，包括：（1）将原始硅片每两片叠在一起，插在同一卡槽内；（2）去除表面损伤层，再经酸洗中和；（3）将硅片在含硝酸银的氢氟酸溶液中沉积银颗粒，并经氢氟酸和双氧水混合溶液腐蚀，在晶面形成纳米级孔洞；（4）将腐蚀完的硅片浸入双氧水和氨水混合溶液中，去除残留银颗粒；（5）将硅片在扩孔溶液中进行扩孔，将晶面形成的纳米级孔洞扩展成为亚微米级孔洞；（6）再经碱洗、酸洗、水洗后将两两叠在一起的硅片分离；（7）将分离的硅片再次酸洗、水洗后烘干。本发明得到的绒面结构使电池具备优异的减反射效果，结合表面高质量的钝化层，可以制备高效黑硅太阳能电池。