一种基于激光超声的工件表面残余应力测量装置及其方法

摘要

本发明公开了一种基于激光超声的工件表面残余应力测量装置及其方法。其步骤为：1)将待测的工件放置于振镜下方，将压电传感器放置于工件表面并连接至示波器；2)利用脉冲激光通过振镜聚焦后在工件表面激励出表面波，再通过压电传感器获得表面波信号R1，继而得到表面波到达时间t1；3)通过振镜扫描使脉冲激光纵向移动，重复步骤2)，获得表面波信号，继而得到表面波到达时间；4)通过计算获得工件在纵向移动直线上的表面波速度分布；5)将压电传感器沿工件表面横向移动，每次横向移动后重复步骤2)～4)，得到工件表面不同纵向移动直线上的表面波速度分布；6)根据声弹性理论和表面波速度分布，计算出工件的表面残余应力分布。本发明能实现快速无损检测工件表面残余应力。