法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/05 申请日:20171225
实质审查的生效
2018-06-22
公开
公开
机译: 用于真空室的载体,用于在真空室,真空处理系统中测试转移装置的系统,真空处理系统和用于在真空室中测试转移装置的方法
机译: 用于真空处理模块中的真空沉积过程的基质的处理装置,用于基质的处理和处理系统,用于真空处理模块的真空沉积过程中的基质的处理方法以及装置进入真空处理系统
机译: 电子真空阀的排气速度控制方法,电子真空阀的排气速度控制系统,用于电子真空阀的排气速度控制的阀打开率的设定点固定方法以及记录的方法通过更改放置在腔室和真空泵之间的电子真空阀的阀门打开速度设置来改变速度