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一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法

摘要

本发明实施例公开了一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法,该方法先利用测量系统,在N个等分角度下测量所述离轴非球面元件和测量系统组成的整体的面形误差,得到N个第一测量结果;再将所述N个第一测量结果分别逆时针旋转该第一测量结果对应的角度,得到N个第二测量结果;然后利用预设等分角度下的所述第一测量结果减去所述N个第二测量结果的平均值,得到第三测量结果;最后测量所述测量系统的误差的旋转对称项,记为第四测量结果,利用所述第一检测结果减去所述第三测量结果以及所述第四测量结果,得到所述离轴非球面元件的面形误差,以实现所述离轴非球面元件的面形误差的测量。

著录项

  • 公开/公告号CN108195309A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201711461392.1

  • 发明设计人 刘钰;于杰;张海涛;王丽萍;谢耀;

    申请日2017-12-28

  • 分类号

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人王宝筠

  • 地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

  • 入库时间 2023-06-19 05:39:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20171228

    实质审查的生效

  • 2018-06-22

    公开

    公开

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