荧光显微镜及包含其的基板检查装置

摘要

基板检查装置包括用于支撑其上形成有检查图案的显示基板的台模块，和用于捕获检查图案以获取检查图像的荧光显微镜。荧光显微镜包括用于向检查图案提供照明光的照明单元、包括用于将照明光导向检查图案的分束器的透镜单元，和用于从检测图案反射的光获取检查图像的照相机单元。特别地，照明单元包括其上安装有多个照明灯的照明基板，和用于调节照明基板的位置以有选择地使用照明灯中任何一个的位置调节单元。