具备电子能量损失谱仪的扫描透射型电子显微镜及其观察方法

摘要

本发明的目的涉及，在低加速电压下，高分辨率观察明视野STEM、暗视野像STEM以及EELS。本发明涉及具备电子能量损失谱仪(17)的透射扫描型电子显微镜，其中，通过变更试样相对于一次电子束的光轴方向的配置，从而控制STEM检测器(11、13)以及电子能量损失谱仪(17)的捕获角。根据本发明，能够抑制伴随着捕获角的控制的色差的产生，且能够容易地控制最适于明视野STEM、暗视野STEM以及EELS的每一个的散射角度。