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一种Mo合金基体上MoTaAl涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种Mo合金基体上MoTaAl涂层的制备方法,将Mo合金基体清洗干燥后放入磁控溅射离子镀设备的真空室中,靶材至少包含一个Mo靶、一个Ta金属靶和一个Al金属靶,将真空室抽真空,然后对Mo合金基体进行离于轰击清洗,清洗后在Mo合金基体表面沉积一层Mo打底层,最后在Mo打底层上沉积MoTaAl镀层。本发明方法具有工艺简捷稳定、涂层成分控制精确、易实现工业化生产的特点。所制备的MoTaAl涂层与Mo合金基体结合良好,结构致密,Mo合金基体无氧化现象。

著录项

  • 公开/公告号CN108149208A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院兰州化学物理研究所;

    申请/专利号CN201711382567.X

  • 申请日2017-12-20

  • 分类号

  • 代理机构兰州中科华西专利代理有限公司;

  • 代理人周瑞华

  • 地址 730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号

  • 入库时间 2023-06-19 05:34:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-27

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20180612 申请日:20171220

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2018-07-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20171220

    实质审查的生效

  • 2018-06-12

    公开

    公开

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