用于实时测试控制的集成测量和微机械定位的设备

摘要

本发明涉及一种测量装置(120)，例如用于测试的测量装置，包括：用于引起传感器(150)相对于目标(110)的移动的微机械定位致动器(130)；定位控制器(145)，该定位控制器(145)具有输出端，该输出端耦合到致动器(130)以用于控制所述移动，且该定位控制器具有输入端，该输入端耦合到传感器(150)以用于接收从传感器(150)到定位控制器(145)的传感器信号，并且该定位控制器(145)被布置成基于传感器信号来控制所述移动。测量装置(120)可以具有用于存储定位控制指令(300)的存储器。定位控制器(145)可以被布置成基于所述传感器信号和所述定位控制指令(300)来控制所述移动。