一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置与改性方法

摘要

公开一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，包括：充有惰性气体的第一气瓶(101)、充有氟气/惰性气体混合气体的第二气瓶(102)、反应釜(103)、第二阀门(105)、第四阀门(106)、第三阀门(107)、第一阀门(109)、气压计(108)、测温元件(110)、加热装置(113)、真空泵(111)和尾气处理装置(112)。还提供对激励器表面氟化处理的具体操作过程。在密闭容器中放置待处理的等离子体激励器，通过氮气持续、反复充入和抽出反应釜，赶走内部的空气及水分。然后抽真空，向密闭反应釜内充入氟气/惰性气体混合气体，在保持一定的温度、压力环境下，持续反应一段时间，生成具有三层阻挡介质结构(氟化层‑聚酰亚胺层‑氟化层)的等离子体激励器。利用该方法可以较大幅度地提高等离子激励器的放电使用寿命。