公开/公告号CN108107050A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201611052740.5
申请日2016-11-25
分类号G01N21/88(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2023-06-19 05:28:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20161125
实质审查的生效
2018-06-01
公开
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