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调整光束倾斜角的方法和调整光束倾斜角的照明装置

摘要

本发明公开了一种调整光束倾斜角的方法,包括如下步骤:步骤一:采用准直镜头将光束进行准直,准直后的光束,光束中光线的发散角较小;步骤二:采用角度调节器将准直后的光束调整光束的倾斜角。提高了光束角度的一致性,提高照明视场的均匀性,并且操作简单,提高了生产效率。本发明还公开了一种调整光束倾斜角的照明装置,包括至少一组照明机构,所述照明机构包括沿光线传播方向设置的光源、准直镜头和角度调节器,所述光源发出光束经所述准直镜头调整成为平行光束,然后,光束经过所述角度调节器调节实现光束的角度偏转,入射至待测平板表面,从而实现大角度斜入射照明效果。

著录项

  • 公开/公告号CN108107050A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;

    申请/专利号CN201611052740.5

  • 发明设计人 王赛;申永强;

    申请日2016-11-25

  • 分类号G01N21/88(20060101);

  • 代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅;李时云

  • 地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号

  • 入库时间 2023-06-19 05:28:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20161125

    实质审查的生效

  • 2018-06-01

    公开

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