公开/公告号CN108089254A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-29
原文格式PDF
申请/专利权人 上海渺视光学科技有限公司;
申请/专利号CN201810045067.5
申请日2018-01-17
分类号G02B6/00(20060101);G02B27/01(20060101);
代理机构
代理人
地址 201203 上海市浦东新区张江路368号29号楼611
入库时间 2023-06-19 05:27:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B6/00 申请日:20180117
实质审查的生效
2018-05-29
公开
公开
机译: 半导体器件;具有锥形,MQW有源波导管的光学装置,其与平面无源波导管的光学接触,制造此类装置的方法
机译: 半导体器件;具有锥形,MQW有源波导管的光学装置,其与平面无源波导管的光学接触,制造此类装置的方法
机译: 用于极端紫外投影曝光系统中的照明光学器件,用于照亮标线片平面中的照明场以制造微结构化组件,并具有孔径光阑,该光阑可适应相对于场的主光束方向