基于FTIR的表征设备

摘要

本发明提供了一种基于FTIR的表征设备，通过新增两个与水平面倾斜的可移动反射镜，使红外光到达探测器被转换成数字信号之前，两次穿过晶片，增加了光通量；基于同样的原理，本发明另外还新增了一个V型镜的方法来增加光通量。红外光两次穿过晶片增大了所述晶片吸收红外光的量，这样能够在晶片厚度保持不变的情况下增强对所述晶片中碳浓度的敏感度，使表征设备能够在不增加所述晶片厚度的情况下对其中的碳浓度进行检测。