公开/公告号CN108051906A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201810031844.0
发明设计人 约瑟夫·M·拉内什;
申请日2013-03-06
分类号G02B17/00(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 05:22:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B17/00 申请日:20130306
实质审查的生效
2018-05-18
公开
公开
机译: 光学系统,用于控制通过圆锥形石英穹顶传输的光。
机译: 光学系统,用于控制通过圆锥形石英穹顶传输的光。
机译: 用于控制通过圆锥形石英圆顶的光的光学元件