用于改善毫秒退火系统中的处理均匀性的方法

摘要

提供了一种用于改善毫秒退火系统中的处理均匀性的系统和方法。在一些实施方式中，用于在毫秒退火系统中热处理衬底的方法可以包括在毫秒退火系统中的处理期间获得指示与一个或更多个衬底相关联的温度分布的数据，该方法可以包括下述各项中的一项或更多项：(1)改变毫秒退火系统的处理室内的压力；(2)借助于毫秒退火系统中的水窗的折射作用来操纵照射分布；(3)调节衬底的角度定位；以及/或者(4)配置用在毫秒退火系统中的反射器的形状。