公开/公告号CN108010973A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 河北工业大学;
申请/专利号CN201711259294.X
申请日2017-12-04
分类号H01L31/0376(20060101);H01L31/032(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/08(20060101);
代理机构12210 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人赵凤英
地址 300130 天津市红桥区丁字沽光荣道8号河北工业大学东院330#
入库时间 2023-06-19 05:17:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0376 申请日:20171204
实质审查的生效
2018-05-08
公开
公开
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