三维印录存储器的偏置印录方法

摘要

本发明提出一种三维印录存储器的偏置印录方法。对应于不同存储层的数据掩膜图形被合并到同一数据掩膜版上。在不同的印录步骤中，晶圆相对于数据掩膜版的偏置量不同。因此，来自同一数据掩膜版的数据图形被印录到不同存储层的数据录入膜中。