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一种能精确控制入射角的分光镜测量方法及装置

摘要

为了解决传统分光镜分光比和反射透射率测量方法光路复杂、误差大的技术问题,本发明提供了一种能精确控制入射角的分光镜测量方法及装置。本发明基于分光镜对部分光反射的特性,利用小孔光阑、五棱镜以及第二平面反射镜自准的方法,降低了测量光路的误差;利用自准直光管垂直入射的方法解决了对45°入射角度基准的标定;利用自准直光管的角度检测功能实现了对分光镜入射角小角度变化的精确控制,当自准直光管精度为1"时,入射角度控制精度可达到0.5"量级。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20171228

    实质审查的生效

  • 2018-04-20

    公开

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