法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20171228
实质审查的生效
2018-04-20
公开
公开
机译: 电子束入射角测量装置,电子束入射角分布测量装置,电子束曝光装置,电子束入射角测量方法和电子束入射角分布测量方法
机译: 一种用于借助于在待测辐射的相邻图像上产生的分光镜或分光镜比较多个光束来测量光束的装置。
机译: 能量束入射角的测量方法和装置以及带电粒子透镜的特征的测量方法和装置