气体平衡机构以及气体平衡机构的姿势调整方法

摘要

本发明提供一种气体平衡机构(10)，其包括：延伸板部(80)；在一端具有凸缘(90)的固定轴(82)；以及能够相对于固定轴(82)进行相对移动的可动缸(84)。在凸缘(90)的下表面设置有空间(94a)。另外，气体平衡机构(10)具有：在与空间(94a)不同的位置固定凸缘(90)和延伸板部(80)的固定螺栓(96)；以及通过空间(94a)并旋入延伸板部(80)，由此能够调整固定轴(82)的姿势的调整螺栓(97)。

说明书

技术领域

本发明涉及辅助移动体的上下方向的移动的气体平衡机构以及气体平衡机构的姿势调整方法。

背景技术

机床在沿着垂直轴移动的移动体的附近位置具备气体平衡机构。例如，如日本特开2008－204366号公报所公开那样，设置于机床的气体平衡机构(平衡装置)作为利用气体压力承受移动体的重量的重力消除器而发挥作用，从而使移动体顺利地移动。

这种气体平衡机构具有通常沿着垂直轴直立的固定轴和覆盖该固定轴并且与移动体连结的可动缸，通过调整可动缸内的气体，使可动缸相对于固定轴相对移动。此外，就日本特开2008－204366号公报所公开的气体平衡机构而言，气缸的缸筒在固定侧，气缸的活塞为与移动体连结的可动侧。

然而，气体平衡机构通过设置为固定轴和可动缸保持非接触状态，从而抑制固定轴对可动缸赋予阻力。由此，能够精度良好地控制可动缸的位移。

因此，固定轴需要高精度地组装为其姿势与垂直轴平行，例如以往，在固定轴的下端放置较薄的垫片来调整固定轴的姿势。然而，在使用了垫片的姿势的调整作业中，存在需要花费很多的工夫，并且难以精密调整这样的课题。

发明内容

本发明是为了解决上述的课题而完成的，其目的在于提供能够通过简单的结构来高精度并且短时间地调整轴的姿势的气体平衡机构以及气体平衡机构的姿势调整方法。

为了实现上述的目的，本发明是一种气体平衡机构，包括：安装部；轴，在一端具有固定于上述安装部的凸缘；以及缸体，覆盖上述轴并且能够相对于上述轴进行相对移动，上述气体平衡机构的特征在于，在上述安装部以及上述凸缘中至少一方的接触部分设置有退避部，上述气体平衡机构具有：一个以上的固定螺栓，在与上述退避部不同的位置固定上述凸缘和上述安装部；以及一个以上的调整螺栓，通过与上述退避部重叠位置的上述凸缘并旋入上述安装部，由此能够调整上述轴的姿势。

根据上述，气体平衡机构能够通过由退避部、固定螺栓以及调整螺栓构成的简单的结构来高精度并且短时间地调整轴的姿势。即，操作人员利用固定螺栓固定轴的凸缘和安装部，并对贯通退避部的调整螺栓进行旋拧操作。其结果，凸缘的与退避部重叠的壁部分轻微地变形，轴的姿势跟随该变形而改变。因此操作人员能够通过使调整螺栓的旋入量适当地变化，来以较少的工夫且高精度地调整轴的姿势。

该情况下，优选该气体平衡机构具有在调整上述轴的姿势时向上述缸体内供给气体的气体供给部。

气体供给部在利用调整螺栓调整姿势时向缸体内供给气体，从而操作人员能够根据从缸体排出的气体量的变化判断轴的姿势是否正常。因此，能够进一步高效地进行作业。

另外，优选上述凸缘在俯视时形成为正圆形状，以上述轴的延伸部分的轴心与其中心点一致的方式进行固定，上述退避部由使上述凸缘向内侧较浅地凹陷的凹部构成，上述凹部形成为上述凸缘的同心正圆形状并且直径比上述轴的延伸部分的外径大。

通过轴的延伸部分的轴心与凸缘的中心点一致，从而针对安装部的轴的载荷被均等地分散。而且，通过凹部形成为凸缘的同心正圆形状并且直径比轴的延伸部分的外径大，从而气体平衡机构能够伴随调整螺栓的旋拧操作，良好地促使形成有凹部的部分的变形，调整固定轴的姿势。

除了上述构成以外，上述固定螺栓和上述调整螺栓也可以沿着上述凸缘的径向并排设置。

通过固定螺栓和调整螺栓沿着凸缘的径向并排设置，从而在调整螺栓被旋拧操作时，能够使固定螺栓成为支点而容易地使凸缘向相反侧的径向变形。

并且，上述安装部也可以具有分别供上述固定螺栓以及上述调整螺栓旋入的多个内螺纹部，在上述多个内螺纹部中，上述调整螺栓的紧固力比上述固定螺栓的紧固力大。

气体平衡机构通过使调整螺栓的紧固力比固定螺栓的紧固力大，能够牢固地维持利用调整螺栓调整后的轴的姿势。

另外，上述固定螺栓和上述调整螺栓也可以形成为相互相同的形状。

操作人员准备相同形状的螺栓进行调整作业即可。因此，作业的效率性进一步提高。

另外，为了实现上述的目的，本发明是一种气体平衡机构的姿势调整方法，上述气体平衡机构包括：安装部；在一端具有固定于上述安装部的凸缘的轴；以及覆盖上述轴并且能够相对于上述轴进行相对移动的缸体，上述气体平衡机构的姿势调整方法的特征在于，在上述安装部以及上述凸缘中至少一方的接触部分设置有退避部，上述气体平衡机构的姿势调整方法具有：固定步骤，通过一个以上的固定螺栓而在与上述退避部不同的位置固定上述凸缘和上述安装部；以及调整步骤，在上述固定步骤之后，使一个以上的调整螺栓通过与上述退避部重叠的位置的上述凸缘并旋入上述安装部，由此调整上述轴的姿势。

该情况下，在上述调整步骤中，可以通过气体供给部向上述缸体内供给气体，根据从上述缸体排出的气体量调整上述轴的姿势。

根据本发明的气体平衡机构以及气体平衡机构的姿势调整方法，能够通过简单的结构高精度并且短时间地调整轴的姿势。

根据参照添加的附图所描述的以下的实施方式的说明，能够容易地理解上述的目的、特征以及优点。

附图说明

图1是表示具备本发明的一实施方式的气体平衡机构的机床的立体图。

图2是表示图1的气体平衡机构的延伸板部以及固定轴的连结状态的侧剖视图。

图3是图1的III－III线的剖视图。

图4A是对固定轴的姿势调整方法进行说明的第一说明图，图4B是对固定轴的姿势调整方法进行说明的第二说明图。

具体实施方式

以下，举出优选的实施方式，参照附图对本发明的气体平衡机构以及气体平衡机构的姿势调整方法详细地进行说明。

如图1所示，本发明的一实施方式的气体平衡机构10设置为沿着机床12的垂直轴亦即Y轴向(上下方向)移动的移动体(后述的Y轴滑块54)的重力消除器。通过该气体平衡机构10而使移动体的移动控制容易。特别是，本实施方式的气体平衡机构10能够高精度并且短时间地调整其设置姿势，实现了针对机床12的组装性的提高。

以下，为了容易理解本实施方式的气体平衡机构10，首先对设置有气体平衡机构10的机床12进行说明。

机床12构成为为了加工工件W而在未图示的数值控制装置的控制下进行五轴的加工动作。详细而言，机床12使载置工件W的工作台14沿X轴向往复移动，并且能够绕以垂直方向为轴心的B轴旋转。另外，机床12使加工工件W的工具16沿Z轴向(与工作台14接近或者分离的方向)以及Y轴向往复移动，并且使工具16能够绕以水平方向为轴心的C轴进行分度(能够定位工具16的姿势)。

换句话说，本实施方式的机床12除了三个进给轴以外，还在工作台14具有一个转动轴，并且在主轴具有一个转动轴。此外，就应用了气体平衡机构10的机床12而言，对于轴数并不特别限定，另外，对于转动轴的设置状态也不限定。例如，气体平衡机构10也能够应用于在工作台14侧具备两个转动轴的装置或在工具16侧具备两个转动轴的装置。

机床12的X轴的进给轴机构20由X轴引导体22和能够在该X轴引导体22上往复运动的X轴滑块24构成。机床12的B轴的旋转机构30由固定于X轴滑块24的上部的定子32和设置于定子32的内侧且能够与该定子32相对旋转的转子34构成。在转子34的上表面设置有固定保持工件W的上述的工作台14，在该工作台14的上部定位固定有工件W。

机床12的Z轴的进给轴机构40由一对Z轴引导体42和能够在该一对Z轴引导体42往复运动的Z轴滑块44构成。而且，在Z轴滑块44的上部设置有Y轴的进给轴机构50。

Y轴的进给轴机构50由一对Y轴引导体52和能够沿着该一对Y轴引导体52往复运动的Y轴滑块54构成。另外，本实施方式的Y轴进给轴机构50包括直立固定于Z轴滑块44的上部的支撑体58和辅助Y轴滑块54的升降的上述的气体平衡机构10而构成。此外，在X轴、Z轴以及Y轴的进给轴机构20、40、50的各引导体与各滑块之间设置有供给流体(气体或油)的静压轴承，通过该静压轴承实现了各滑块的滑动性的提高。

一对Y轴引导体52沿着Y轴滑块54的移动方向(Y轴向)相互平行地延伸，并引导Y轴滑块54的移动。各Y轴引导体52呈规定长度的方筒状，在相互分离的位置设置为沿铅垂方向直立。一对Y轴引导体52的四方的侧面中相互对置的侧面以外的侧面构成Y轴滑块54滑动时的滑动面。

另外，一对Y轴引导体52固定于图1中的Z2侧的支撑体58，从而支撑了该铅垂姿势。此外，在图1中，将支撑体58图示为立方体状的块状体，但因为实现Y轴滑块54上的轻型化，所以支撑体58可以形成为具有空洞的框状。

Y轴滑块54通过将固定有C轴的旋转机构70的固定壁部54a和设置于固定壁部54a的两侧边的一对引导壁部54b一体成形来构成。就固定壁部54a而言，其表面形成为平坦状，另外，具有足够的厚度以得到能够保持C轴的旋转机构70的刚性。一对引导壁部54b将各Y轴引导体52包围成钩状，抑制Y轴滑块54的X方向以及Z方向的晃动，并且使Y轴滑块54沿上下方向滑动。

C轴的旋转机构70由固定于Y轴滑块54的定子72和与该定子72相对旋转自如的转子74构成。就转子74而言，一部分收纳于定子72的内侧，并且在Y轴滑块54的背面侧(图1中的Z1侧)露出。在转子74的前端面侧(图1中的Z1侧)设置有驱动工具16进行工件W的加工的主轴机构76。

主轴机构76并不特别限定，但应用了进行切断加工、修边加工、切削加工等的机构。例如，主轴机构76构成为包括：在侧视时呈L字状的支撑部76a；在支撑部76a的延伸突出部分侧保持工具16并使该工具16绕轴旋转的主轴部76b。

在构成C轴的旋转机构70的定子72与转子74之间设置有使转子74伴随油(流体)的供给而相对于定子72的相对移动顺利的静压轴承。另外，在旋转机构70设置有向静压轴承供给油的未图示的油供给机构和从静压轴承排出油的未图示的排液机构。

如上所述，沿着上下方向移动的移动体60包括Y轴滑块54、C轴的旋转机构70、主轴机构76以及工具16。因此，作为移动体60整体的重量变重(例如，200kg左右)，难以进行利用数值控制装置进行的高精度的移动控制。因此，本实施方式的气体平衡机构10构成为消除移动体60(Y轴滑块54)的重力。

气体平衡机构10基于气压的变化支撑移动体60以及使其位移。该气体平衡机构10包括：安装于Z轴滑块44的延伸板部80；固定于延伸板部80的两侧部的上表面的一对固定轴82；以及能够相对于各固定轴82相对移动地分别外设的一对可动缸84。另外，气体平衡机构10具有向可动缸84内供给和排出可动气体的可动气体调整装置86(参照图2)。

气体平衡机构10的延伸板部80是用于将一对固定轴82以及一对可动缸84设置在Z轴滑块44的设置用部件(安装部)。延伸板部80形成为在俯视时X轴向长且Z轴向短的长方形，并且以其两侧部向X轴向外侧突出的方式设置于Z轴滑块44。Z轴滑块44和延伸板部80通过焊接等固定方式牢固地进行固定。此外，气体平衡机构10也可以不经由延伸板部80而使固定轴82直接固定于Z轴滑块44。该情况下，Z轴滑块44为本发明的安装部。

延伸板部80具有足够的厚度且具有能够支撑移动体60的刚性。延伸板部80的上表面形成为平坦状，以Z轴滑块44的设置状态水平(相对于X－Z平面平行)配置。如图2所示，在延伸板部80的上表面设置有多个安装部侧内螺纹部81。在多个安装部侧内螺纹部81旋入有后述的固定螺栓96以及调整螺栓97。

即，在侧剖视图中，多个安装部侧内螺纹部81包括：设置于延伸板部80的外侧且与固定螺栓96对应的安装部侧固定内螺纹部81a；以及比安装部侧固定内螺纹部81a靠内侧设置且与调整螺栓97对应的安装部侧调整内螺纹部81b。安装部侧内螺纹部81从延伸板部80的上表面形成为预定的深度(例如，比固定螺栓96或调整螺栓97的外螺纹部96b、97b的轴向长度长)。

另一方面，如图1所示，一对固定轴82设置为与Y轴滑块54的移动方向(即，机床12的垂直轴)平行，并且引导相对移动的可动缸84。各固定轴82通过组装在轴向具有规定长度的圆柱状的轴主体88和与轴主体88的下端连结且固定于延伸板部80的凸缘90而构成。此外，轴主体88和凸缘90也可以一体成形。

各固定轴82的轴主体88其外周面形成为没有凹凸的平滑的曲面，另外，沿着轴向以恒定的外径连续。轴主体88以其轴心直立的方式经由凸缘90固定于延伸板部80。

如图2所示，在轴主体88的内部设置有使可动气体流动的流路88a。在轴主体88的下端设置有使流路88a与外部连通的未图示的连接器，流路88a经由连接器以及管与可动气体调整装置86连接。另外，在轴主体88的下端面设置有多个主体侧内螺纹部89。多个主体侧内螺纹部89在与轴主体88的轴心的中心在径向上分离的位置沿着周向等间隔地配置。

在这些主体侧内螺纹部89中，分别通过凸缘90从下侧旋入有连结螺栓92。连结螺栓92例如具有：头部92a；与头部92a相连且比头部92a细的躯体部92b；以及与躯体部92b相连且外周面形成有螺纹的外螺纹部92c。

固定轴82的凸缘90通过与轴主体88的下端连结来支撑直立姿势的轴主体88。凸缘90在俯视时形成为具有比轴主体88的外径大的外径的正圆形状(还参照图3)。凸缘90通过上述的连结螺栓92连结为轴主体88的轴心与其面方向正交并且位于其中心点。因此，凸缘90的一部分以与轴主体88的连结状态从轴主体88向径向外侧突出一定程度。另外，凸缘90形成为具有预定的厚度，从而具有能够稳定支撑轴主体88的刚性。

凸缘90的上表面的中心位置附近形成为平坦状以便与轴主体88的下端面面接触。与此相对，在凸缘90的下表面设置有向该凸缘90的内侧(厚度方向)凹陷的凹部94。该凹部94以延伸板部80与凸缘90的连结状态在延伸板部80与凸缘90之间形成空间94a(退避部)。

凹部94形成为与凸缘90同心的正圆形状，另外，其直径大于轴主体88的外径。另外，凹部94通过从下表面浅浅地形成(例如，5mm以下)，从而确保凸缘90的刚性。此外，凹部94也可以不设置于凸缘90侧(或者与凸缘90一起)而设置于延伸板部80侧。

该凹部94的底面形成为平坦状，另外，在预定位置设置有多个旋入有连结螺栓92的凸缘侧孔部91。各凸缘侧孔部91位于分别与轴主体88的主体侧内螺纹部89对置的位置，并在其内部设置有阶梯差。在连结轴主体88与凸缘90时，从底部侧插入连结螺栓92，其头部92a与阶梯差卡合，并且外螺纹部92c与主体侧内螺纹部89螺纹连接。通过该连结螺栓92的螺纹固定，轴主体88和凸缘90稳固地进行连结。

而且，固定轴82以从轴主体88向径向外侧突出的凸缘90的露出部分能够相对于延伸板部80调整姿势的方式连结。因此，在凸缘90设置有多个旋入有固定螺栓96的固定侧内螺纹部95a和旋入有调整螺栓97的调整侧内螺纹部95b(在本实施方式中分别为八个，还参照图3)。

固定螺栓96以及调整螺栓97能够应用由同一材料并且同一形状成形的部件。即，固定螺栓96以及调整螺栓97的区别是应用于固定侧内螺纹部95a以及调整侧内螺纹部95b中哪一个的差别。此外，固定螺栓96以及所对应的安装部侧固定内螺纹部81a、固定侧内螺纹部95a、与调整螺栓97以及所对应的各安装部侧调整内螺纹部81b、调整侧内螺纹部95b也可以形成为相互不同的形状。

各固定螺栓96以及各调整螺栓97具有：头部96a、97a；以及与头部96a、97a相连且在外周面形成有螺纹的外螺纹部96b、97b。另外，在头部96a、97a的上表面设置有用于拧各固定螺栓96以及各调整螺栓97的操作孔96c、97c(参照图3)。

如图2以及图3所示，各固定侧内螺纹部95a和各调整侧内螺纹部95b在凸缘90的露出部分沿着径向并排设置。另外，各固定侧内螺纹部95a和各调整侧内螺纹部95b沿着露出部分的周向等间隔地(换句话说，以45°间隔)设置。另外，各固定侧内螺纹部95a和各调整侧内螺纹部95b上下贯通凸缘90，并且在内部形成有与固定螺栓96以及调整螺栓97的头部96a、97a卡合的阶梯差。

此外，固定侧内螺纹部95a以及调整侧内螺纹部95b的形成数并不特别限定，可以任意地设计。另外，固定侧内螺纹部95a和调整侧内螺纹部95b的形成数也可以相互不同。例如，也可以是沿着露出部分的周向具备四个固定侧内螺纹部95a，另一方面沿着露出部分的周向具备三个调整侧内螺纹部95b等的构成。如果调整侧内螺纹部95b(调整螺栓97)的数目少，则能够更短时间地进行姿势的调整作业。

各固定侧内螺纹部95a在靠近凸缘90的外周边且与凹部94不同的位置(不重叠的位置)设置为与延伸板部80的各安装部侧固定内螺纹部81a对置。因此，安装部侧固定内螺纹部81a以及固定侧内螺纹部95a伴随固定螺栓96的螺纹连接而使凸缘90和延伸板部80相互连结。安装部侧固定内螺纹部81a例如以10N左右的紧固力将固定螺栓96的外螺纹部96b螺纹连接。

与此相对，调整侧内螺纹部95b在比固定侧内螺纹部95a靠径向内侧并且与凹部94重叠的位置设置为与延伸板部80的各安装部侧调整内螺纹部81b对置。因此，若调整螺栓97通过旋入而贯通凹部94的底面，则调整侧内螺纹部95b通过空间94a使调整螺栓97插入安装部侧调整内螺纹部81b。安装部侧调整内螺纹部81b形成为比安装部侧固定内螺纹部81a稍细(或者螺纹的间距间隔短)，从而用大于10N的紧固力来螺纹连接调整螺栓97的外螺纹部97b。

这里，即使固定轴82的轴主体88从正常的姿势倾斜数μm左右，在引导可动缸84的相对移动时也产生阻力，存在对上下方向的位移控制造成影响的可能性。因此，通常伴随气体平衡机构10的组装，进行轴主体88的姿势的调整作业。

在以往的姿势调整方法中，如上所述，在轴主体88与凸缘90之间插入垫片(未图示)来调整轴主体88的姿势。例如，在该姿势调整方法中，停止可动气体调整装置86的驱动，进行将垫片插入轴主体88与凸缘90之间的作业。然后，通过多次反复该作业直至轴主体88的姿势变得正常，由此结束调整作业。其结果，姿势的调整花费大量的工夫。

与此相对，本实施方式的气体平衡机构10能够根据调整螺栓97的紧动操作来调整与凸缘90连结的轴主体88的直立姿势。即，在旋入有调整螺栓97的延伸板部80与凸缘90之间由凹部94形成空间94a。因此，调整螺栓97通过使旋入量变化，能够使设置有凹部94的凸缘90的壁部分轻微地变形。

换句话说，在轴主体88倾斜的情况下，例如，操作人员旋入与轴主体88倾斜的方向相反的一侧的调整螺栓97，向安装部侧调整内螺纹部81b的插入方向里侧插入。由此，凸缘90向旋入有调整螺栓97的一侧倾斜，所以与凸缘90的上表面连结的轴主体88也活动以消除姿势的倾斜。因此，操作人员能够将轴主体88简单地调整为正常的姿势(换句话说，与Y轴滑块54的上下方向完全平行的姿势)。此外，在调整时，操作人员当然也可以放松与轴主体88倾斜的方向同方向的调整螺栓97的旋入程度。

返回到图1，气体平衡机构10的一对可动缸84形成为在上端部具有底部的有底圆筒状。在各可动缸84的内侧形成有比各固定轴82的外径稍大的直径的内部空间84a。可动缸84从固定轴82的上侧覆盖固定轴82，从而在其内周面与轴主体88的外周面之间构建非接触状态。另外，各可动缸84的轴向的长度比固定轴82的轴向的长度短。

另外，在一对可动缸84的下端部分别设置有桥接Y轴滑块54与可动缸84，并将移动体60的重量传递到可动缸84的桥接框架98。桥接框架98具有厚度而形成为具有足够的刚性，通过适当的连结手段(螺丝固定、焊接等)与Y轴滑块54以及可动缸84连结。

如图4A所示，在桥接框架98的内侧设置有与可动缸84的内部空间84a的直径一致的贯通孔98a。并且，在桥接框架98的下侧固定有非接触式密封构造100。就非接触式密封构造100而言，其密封内面向内侧突出，以降低内部空间84a的漏压的方式缓缓地关闭贯通孔98a，另一方面，对于轴主体88的外周面维持非接触性。例如，就非接触式密封构造100而言，在固定轴82是正常的姿势的情况下，使密封内面与轴主体88的外周面之间成为数μm的间隙C。

另外，如图2以及图4A所示，气体平衡机构10的可动气体调整装置86经由一对固定轴82的流动路88a，在适当的时机向一对可动缸84的内部空间84a供给或者排出可动气体。可动气体使可动缸84内的气压变动，并且从非接触式密封构造100微量地排出。由此，就气体平衡机构10而言，在Y轴滑块54的上下方向的移动时，能够与Y轴的进给轴机构50的驱动控制一起控制该驱动，从而分散承受移动体60的载荷。

而且，可动气体调整装置86作为在固定轴82的姿势的调整作业时在操作人员的操作下供给调整用气体CA的气体供给部发挥作用。该调整用气体CA是比可动气体少的量，流入可动缸84的内部空间84a，从非接触式密封构造100的下部微量地排出。

本实施方式的气体平衡机构10基本上如以上那样构成，以下，对气体平衡机构10的姿势调整方法以及其效果进行说明。

如图2所示，在组装气体平衡机构10时，操作人员首先将成形的轴主体88与凸缘90通过连结螺栓92进行连结。由此，轴主体88和凸缘90成为一体化的固定轴82。另外，气体平衡机构10的延伸板部80在安装固定轴82前固定于Z轴滑块44的上表面。

然后，在姿势调整方法中，进行将固定轴82固定于延伸板部80的固定步骤。该情况下，操作人员在延伸板部80的上表面定位凸缘90，在凸缘90的固定侧内螺纹部95a以及延伸板部80的安装部侧固定内螺纹部81a旋入固定螺栓96。多个固定螺栓96通过其头部96a分别插入到与凸缘90较强地卡合，从而牢固地固定延伸板部80和凸缘90。

并且，操作人员在固定轴82和延伸板部80的固定后，将调整螺栓97旋入凸缘90的调整侧内螺纹部95b、空间94a、延伸板部80的安装部侧调整内螺纹部81b。此时，多个调整螺栓97被较松地旋入，成为轻轻地与凸缘90卡合的程度。由此，结束固定轴82的姿势调整前的固定，使可动缸84覆盖该固定轴82，并且连接可动气体调整装置86。

然后，操作人员在固定步骤后进行调整固定轴82的姿势的调整步骤。该调整步骤可以在工厂等使用现场设置机床12时实施。在调整步骤中，如图4A以及图4B所示，从可动气体调整装置86供给预定量的调整用气体CA。就从可动气体调整装置86供给的调整用气体CA而言，若导入于固定轴82则通过流路88a向上方流动，从而供给至可动缸84的内部空间84a。该调整用气体CA使内部空间84a成为一定程度的气压，另外，从可动缸84的下部的非接触式密封构造100稍稍排出。

这里，如图4A所示，在固定轴82的轴主体88从垂直轴倾斜的情况下，非接触式密封构造100的密封内面与轴主体88的外周面的间隙C的间隔局部变大。其结果，调整用气体CA从非接触式密封构造100的下部较多地漏出。即，操作人员能够根据从可动缸84排出的调整用气体CA的气体量判断固定轴82的姿势的正常或者异常。

在固定轴82的姿势倾斜的情况下，如图4B所示，操作人员通过对一个或者多个调整螺栓97进行紧动操作，改变其旋入量来调整固定轴82的姿势。由于调整螺栓97的旋入量产生变化，从而头部97a对凸缘90的壁部分的挤压加强或者减弱。因此，凸缘90向空间94a退避等使其上表面产生微小的变形，改变轴主体88的姿势。

这里，即使固定轴82的姿势倾斜其倾斜也微小，所以操作人员难以识别固定轴82的姿势是否正常(在姿势较大地倾斜的情况下，假定有固定螺栓96的固定松动等其它的重要因素)。因此，操作人员在调整螺栓97的紧动操作中也确认从非接触式密封构造100的下部排出的调整用气体CA的气体量，根据气体量减少(或者几乎没有)的情况，判断为固定轴82的姿势正常。由此，能够短时间并且良好地结束固定轴82的姿势调整作业。

如上所述，本实施方式的气体平衡机构10能够通过凸缘90的空间94a、固定螺栓96以及调整螺栓97这样的简单的结构，来高精度并且短时间地调整固定轴82的姿势。即，操作人员在用固定螺栓96螺纹连接从轴主体88露出的凸缘90的靠外侧并固定的状态下在固定螺栓96的内侧进行调整螺栓97的紧动操作，从而使其旋入量适当地变化。根据该旋入量的变化，简单地微调固定轴82的姿势。

该情况下，可动气体调整装置86在姿势调整时向可动缸84内供给调整用气体CA，从而操作人员能够根据从可动缸84排出的气体量的变化判断固定轴82的姿势是否正常。因此，能够进一步高效地进行作业。

另外，通过轴主体88的轴心与凸缘90的中心点一致，从而针对延伸板部80的固定轴82的载荷被均等地分散。而且，凹部94形成为凸缘90的同心正圆形状且直径大于轴主体88的外径，从而能够伴随调整螺栓97的紧动操作，良好地促使形成有凹部94部分的变形，调整固定轴82的姿势。除此以外，通过固定螺栓96和调整螺栓97沿着凸缘90的径向并排设置，从而在调整螺栓97紧动操作时，能够使固定螺栓96成为支点容易地使凸缘90向相反侧的径向变形。

并且，气体平衡机构10通过调整螺栓97的紧固力大于固定螺栓96的紧固力，从而能够稳固地维持通过调整螺栓97调整后的固定轴82的姿势。另外，并且，通过固定螺栓96和调整螺栓97形成为相互相同的形状，从而准备相同的螺栓即可，作业的效率性进一步提高。

本发明并不局限于上述的实施方式，当然能够在不脱离本发明的要旨的范围中进行各种改变。