ArF准分子激光光场能量均匀性检测的能量探测器设计方法

摘要

本发明公开了一种针对投影式光刻系统中的脉冲激光光场能量均匀性测试的装置和方法。本发明使用的是探针步进扫描法，使用两个紫外传感器分别检测脉冲激光与自然光中的紫外光。紫外传感器采集到信号后，依次进行I/V转换，前置放大，差分相减，消除掉自然光中紫外成分的干扰后再进行积分处理，通过计数和同步控制逻辑对一定个数脉冲激光的能量实现的周期性探测，每个周期的能量在经过AD转换后将信号传递给单片机，同时通过单片机与PC相连，可以使用PC来对信号进行后续的分析。本发明是一个能量探测器系统，具有很高的精度和可控性。